微机电系统（MEMS）流量传感器|气体质量流量计
工作原理
微机电系统（MEMS）芯片传感器技术，是在硅芯片上集成了具有机械和电子特征的微米级传感器，它并不是简单地将机械和电子功能微缩在芯片上，而是采用了现代材料制作技术与大规模集成电路技术相结合获得新的机电特征。微机电系统芯片可获得某些宏观机电器件所不能达到的功效。
气体质量流量计采用了公司生产的热质量流量计传感芯片，属于质量流量传感器方式的流量计，它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量的。由于不同质量的气体对热场的变化具有不同的影响，因而它所测量的流量为质量流量，同时用于采用了多传感器和微热原技术，使其具备了优良的零点稳定性、响应时间短和超大量程等特点。
